Metode vir die voorbereiding van polisilicon.

1. Laai

Plaas die bedekte kwarts-smeltkroes op die hitte-uitruiltafel, voeg silikongrondstof by, installeer dan verwarmingstoerusting, isolasietoerusting en oondbedekking, ontruim die oond om die druk in die oond tot 0,05-0,1 mbar te verminder en handhaaf vakuum. Stel argon in as 'n beskermende gas om die druk in die oond basies op ongeveer 400-600mbar te hou.

2. Verhitting

Gebruik 'n grafietverwarmer om die oondliggaam te verhit, verdamp eers die vog wat op die oppervlak van grafietdele, isolasielaag, silikon grondstowwe, ens. geadsorbeer is, verdamp en verhit dan stadig om die temperatuur van die kwartssmeltkroes ongeveer 1200-1300 te maak℃. Hierdie proses duur 4-5 uur.

3. Smelt

Stel argon in as 'n beskermende gas om die druk in die oond basies op ongeveer 400-600mbar te hou. Verhoog die verhittingskrag geleidelik om die temperatuur in die smeltkroes tot ongeveer 1500 aan te pas℃, en die silikon rou materiaal begin smelt. Hou ongeveer 1500℃tydens die smeltproses totdat die smelting voltooi is. Hierdie proses duur ongeveer 20-22 uur.

4. Kristalgroei

Nadat die silikon rou materiaal gesmelt is, word die verwarmingskrag verminder om die temperatuur van die smeltkroes te laat daal tot ongeveer 1420-1440℃, wat die smeltpunt van silikon is. Dan beweeg die kwartskroes geleidelik afwaarts, of die isolasie-toestel styg geleidelik, sodat die kwartskroes stadig die verhittingsone verlaat en hitte-uitruiling met die omgewing vorm; terselfdertyd word water deur die verkoelingsplaat gevoer om die temperatuur van die smelt van onder af te verlaag, en kristallyne silikon word eers aan die onderkant gevorm. Tydens die groeiproses bly die vastestof-vloeistof-koppelvlak altyd parallel met die horisontale vlak totdat die kristalgroei voltooi is. Hierdie proses duur ongeveer 20-22 uur.

5. Uitgloeiing

Nadat die kristalgroei voltooi is, as gevolg van die groot temperatuurgradiënt tussen die onderkant en die bokant van die kristal, kan termiese spanning in die ingot bestaan, wat maklik is om weer te breek tydens die verhitting van die silikonwafel en die voorbereiding van die battery . Daarom, nadat die kristalgroei voltooi is, word die silikonblok vir 2-4 uur naby die smeltpunt gehou om die temperatuur van die silikonblok eenvormig te maak en termiese spanning te verminder.

6. Verkoeling

Nadat die silikonblok in die oond uitgegloei is, skakel die verwarmingskrag af, verhoog die hitte-isolasie-toestel of verlaag die silikonblok heeltemal, en voer 'n groot vloei van argongas in die oond in om die temperatuur van die silikonblok geleidelik te verlaag tot naby kamertemperatuur; terselfdertyd styg die gasdruk in die oond geleidelik totdat dit atmosferiese druk bereik. Hierdie proses duur ongeveer 10 uur.